從“硅片”到“芯片”全流程制造 ，德州職業(yè)技術學院實訓場景實現(xiàn)新突破

　　1月30日，在德州職業(yè)技術學院集成電路制造工藝實踐中心，記者見證了一個芯片誕生的過程?！皠偛诺牟襟E是光刻，通過勻膠、曝光、顯影，利用我們分辨率達微米級的光刻機，將設計好的電路圖形‘印刷’到硅片上，這是決定芯片功能精度的關鍵一步。”德州職業(yè)技術學院集成電路學院教師趙寧寧介紹。

　　以往，學生畢業(yè)后進入企業(yè)，面對復雜精密的工藝，需要很長的適應期。受限于設備、場地和成本，職業(yè)院校難以提供覆蓋全鏈條的、真實的制造體驗。

　　為打破瓶頸，依托全球集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競爭力百強城市優(yōu)勢，德州職業(yè)技術學院“復現(xiàn)”了一個真實的、可運行的微型芯片制造實訓環(huán)境——集成電路制造工藝實踐中心。在該中心，學生可親手將一枚光禿禿的硅片，制造成一顆具備特定功能、可測試可應用的集成電路芯片。

　　據(jù)了解，能具備全真、閉環(huán)、可實際制造芯片的工藝鏈的職業(yè)院校實訓基地，多集中在長三角、珠三角等產(chǎn)業(yè)高度集聚區(qū)。德州職業(yè)技術學院是我國北方地區(qū)首家真正打通了這條“校園芯片制造之路”的高職院校。集成電路制造工藝實踐中心是我國北方地區(qū)職業(yè)院校中首個真正實現(xiàn)“從硅片到芯片”全流程制造的實踐教學平臺。

　　集成電路制造工藝實踐中心構建了一條完整的“教學型”芯片制造短流程線。它涵蓋了芯片制造最核心的六大模塊：薄膜制備、光刻圖形化、刻蝕、清洗去膠、封裝鍵合、功能測試。從一片普通的硅片進入中心開始，它將經(jīng)歷：薄膜沉積、光刻與圖形化、刻蝕、后道工藝、測試與驗證。整個流程，從“硅片”入到“芯片”出，全部在集成電路制造工藝實踐中心完成。

　　“我們的工藝能力可以達到3微米精度，集成電路制造工藝實踐中心對于教學實訓、技能培養(yǎng)和初期的產(chǎn)品開發(fā)驗證而言，是很寶貴和先進的平臺?！钡轮萋殬I(yè)技術學院集成電路學院負責人崔健說，當學生手持自己參與設計、自己操作設備、自己封裝測試的芯片，看到它成功驅動一個演示系統(tǒng)時，那種成就感和對專業(yè)的認同，是任何虛擬仿真或片段化實訓都無法給予的。

　　對產(chǎn)業(yè)而言，德州職業(yè)技術學院提供了一個“人才培養(yǎng)前置基地”和“技術驗證微縮平臺”，在滿足社會需求、促進德州市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈延鏈補鏈等方面發(fā)揮積極作用。企業(yè)可以將部分初級工藝培訓前置到學校，學生畢業(yè)即能上手，大大縮短了企業(yè)培訓成本。本地中小微科技企業(yè)、創(chuàng)新團隊，也可以在該中心進行小批量流片、工藝試驗和原型驗證。

　　“圍繞這條真產(chǎn)線，學校的課程改革、教材開發(fā)、師資鍛煉、‘崗課賽證’融通，都有了堅實的依托，助推職業(yè)教育，從模擬走向真實，從跟跑走向在特定領域的并跑甚至領跑?！钡轮萋殬I(yè)技術學院黨委委員、副院長梁強表示。

　　轉自：中華網(wǎng)

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