突破技術(shù)壟斷壁壘 國(guó)產(chǎn)AMHS挺進(jìn)半導(dǎo)體“主戰(zhàn)場(chǎng)”

　　江蘇蘇州，成川科技（蘇州）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“成川科技”）AMHS Demo線展廳內(nèi)，銀色天車在四米軌道上疾馳而過，每秒5.2米的極速穿梭中，晶圓盒抓取定位誤差精準(zhǔn)鎖定在±1毫米--這條躍動(dòng)的“空中走廊”，宣告著中國(guó)在半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)歷史性突圍。

　　AMHS被喻為晶圓廠的“空中高速公路”，天車需在萬級(jí)潔凈環(huán)境中實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)無間斷精準(zhǔn)搬運(yùn)。面對(duì)日本大福與村田構(gòu)筑的專利壁壘，成川科技創(chuàng)始人顧曉勇帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)開啟系統(tǒng)級(jí)創(chuàng)新?！拔覀儾粌H要突破機(jī)械設(shè)計(jì)、運(yùn)動(dòng)控制等模塊技術(shù)，更要攻克ISO Class 100超精密制造工藝與MTBF≥2000小時(shí)的穩(wěn)定性驗(yàn)證體系。”這位技術(shù)出身的掌舵人坦言。

　　2022年秋，華天科技先進(jìn)封裝生產(chǎn)線的測(cè)試車間，國(guó)產(chǎn)AMHS正經(jīng)歷最嚴(yán)苛的“成人禮”--168小時(shí)無故障連續(xù)運(yùn)行測(cè)試。這不是簡(jiǎn)單的耐力測(cè)試，而是對(duì)研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試全周期質(zhì)量體系的終極檢驗(yàn)。中佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)專家李申評(píng)價(jià)：“這不僅是設(shè)備創(chuàng)新，更是符合新質(zhì)生產(chǎn)力要求的技術(shù)范式重構(gòu)?！?/p>

　　在半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的背景下，成川科技實(shí)現(xiàn)導(dǎo)軌電機(jī)、精密傳感器等核心部件100%國(guó)產(chǎn)替代。目前，成川科技正聯(lián)合上下游攻關(guān)晶圓廠特殊環(huán)境適應(yīng)性難題，力求在天車防微振、防靜電等關(guān)鍵指標(biāo)上實(shí)現(xiàn)突破。

　　從追趕者到并行者，國(guó)產(chǎn)AMHS的突圍軌跡勾勒出新質(zhì)生產(chǎn)力的培育路徑，以智能調(diào)度突破技術(shù)壟斷，以數(shù)字孿生重構(gòu)制造流程，以完全自主筑牢產(chǎn)業(yè)根基。在這場(chǎng)攸關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈安全的科技攻堅(jiān)中，中國(guó)創(chuàng)新力量正用硬核突破重塑全球半導(dǎo)體的競(jìng)爭(zhēng)格局。（任徐穎）

　　轉(zhuǎn)自：中國(guó)工業(yè)報(bào)

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